剖析仪器手套箱真空系统爱德华真空泵nXDS, XDS, nXR30, 40, 60先容
剖析仪器（手套箱真空系统）
手套箱是封闭的事情区，用于在无氧气或水分的全隔离环境中处理材料。为实现这种隔离，真空泵用于排脱手套箱中的环境残留空气，然后用氮气或氩气等惰性气体吹扫并密封。真空泵产生的低压环境可防止外部大气进入手套箱。
可用于手套箱的多种不同类型的真空泵包括膜片泵、旋片泵和涡旋泵。泵的选择取决于运用的特定需求，如气体流速、真空度和掩护哀求。
用于剖析仪器的真空系统
确保清洁可靠的剖析环境的真空系统
有几种类型的真空泵，从旋片泵（RV 和 E2M）、涡旋泵和多级罗茨主泵（nXRi 和 nXLi）到用于剖析仪器的涡轮分子泵和离子吸气二级泵。
多级罗茨泵 (MSR)（nXRi 和 nXLi）
采取大略构造的 MSR 是干式罗茨泵，具有两个反向旋转、相互连接的“叶状”转子，在配套的异形定子外壳内旋转。气体通过与转子垂直的进气法兰进入干式泵，然后在快速旋转的转子之间“隔离”（这些转子以相反方向旋转）、压缩，然后送入下一级。转子的几何形状会产生压缩，因此每级都会产生逐渐升高的压力。MSR 泵常日在共用轴上利用七个转子级，一组的排气级连接至下一组的进气级，依此类推。然后，压缩气体通过终极排气级排放至大气中。
以上笔墨与图片未经赞许不得修正，转载请标明出处。（深圳市托理拆利机电设备有限公司)
